发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03203229(A) 申请公布日期 1991.09.04
申请号 JP19890344552 申请日期 1989.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 SATO HIROSHI
分类号 H01L29/201;H01L21/205;H01L21/265 主分类号 H01L29/201
代理机构 代理人
主权项
地址