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发明名称
DEVICE FOR THE RAPID LOADING OF SUBSTRATES OR OTHER ARTICLES INTO VACUUM PLANTS
摘要
申请公布号
EP0421498(A3)
申请公布日期
1991.09.04
申请号
EP19900201910
申请日期
1990.07.13
申请人
CONSORZIO CE.TE.V. CENTRO TECNOLOGIE DEL VUOTO
发明人
MISIANO, CARLO;SIMONETTI, ENRICO
分类号
B01L1/02;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):B01L1/02
主分类号
B01L1/02
代理机构
代理人
主权项
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