发明名称 DEVICE FOR THE RAPID LOADING OF SUBSTRATES OR OTHER ARTICLES INTO VACUUM PLANTS
摘要
申请公布号 EP0421498(A3) 申请公布日期 1991.09.04
申请号 EP19900201910 申请日期 1990.07.13
申请人 CONSORZIO CE.TE.V. CENTRO TECNOLOGIE DEL VUOTO 发明人 MISIANO, CARLO;SIMONETTI, ENRICO
分类号 B01L1/02;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):B01L1/02 主分类号 B01L1/02
代理机构 代理人
主权项
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