发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR PREPARING OXIDE SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 CA2037432(A1) 申请公布日期 1991.09.03
申请号 CA19912037432 申请日期 1991.03.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 YOSHIDA, NORIYUKI;TAKANO, SATOSHI;OKUDA, SHIGERU;HAYASHI, NORIKI;HARA, TSUKUSHI;OKANIWA, KIYOSHI;YAMAMOTO, TAKAHIKO
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/34;C30B23/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/40;C23C14/56 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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