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发明名称 SIGE MIXED CRYSTAL-SI OR GE-SI SELECTIVE ETCHANT
摘要
申请公布号 JPH03201433(A) 申请公布日期 1991.09.03
申请号 JP19890340308 申请日期 1989.12.28
申请人 NEC CORP 发明人 KOYAMA KAZUHISA
分类号 H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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