| 发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS ALLOWING THE REAL-TIME DISTRIBUTION OF DATA FOR CONTROL OF A PATTERNING PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2036342(A1) |
申请公布日期 |
1991.09.03 |
| 申请号 |
CA19912036342 |
申请日期 |
1991.02.14 |
| 申请人 |
MILLIKEN RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
COX, STEVEN W. |
| 分类号 |
D06B11/00;D06P5/00;(IPC1-7):G05B19/12;D06Q1/00 |
主分类号 |
D06B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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