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发明名称 Charged particle beam apparatus with charge-up compensation
摘要
申请公布号 US5045705(A) 申请公布日期 1991.09.03
申请号 US19900579910 申请日期 1990.09.10
申请人 U.S. PHILIPS CORP. 发明人 MOLLENSTEDT, GOTTFRIED
分类号 H01J37/06;H01J37/02;H01J37/26 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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