| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03201475(A) |
申请公布日期 |
1991.09.03 |
| 申请号 |
JP19890340810 |
申请日期 |
1989.12.28 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKEDA KAZUO;TABATA TERUO;SEKIKAWA NOBUYUKI;SANO YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8224;H01L21/8226;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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