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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03200350(A) 申请公布日期 1991.09.02
申请号 JP19890341135 申请日期 1989.12.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUDA KAKUTAROU
分类号 H01L21/76;H01L21/28;H01L21/3205;H01L29/417 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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