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发明名称 SCANNING TYPE FINE PARTICLE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH03200049(A) 申请公布日期 1991.09.02
申请号 JP19890343425 申请日期 1989.12.28
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OKADA RYOZO;SUDA TADASHI
分类号 G01N15/06;G01N15/14 主分类号 G01N15/06
代理机构 代理人
主权项
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