发明名称 CONTACT WINDOW FILLING - UP METHOD
摘要
申请公布号 KR910006745(B1) 申请公布日期 1991.09.02
申请号 KR19880009159 申请日期 1988.07.21
申请人 SAM SUNG ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 PARK HAN-SU
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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