发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATE CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03200363(A) 申请公布日期 1991.09.02
申请号 JP19890341134 申请日期 1989.12.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 EGUCHI KOJI
分类号 H01L27/082;H01L21/8222 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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