| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910006673(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.30 |
| 申请号 |
KR19830003551 |
申请日期 |
1983.07.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
MIYAJAGI MASHARU;DAKAHASHI SUZUMU;KOHASHI DAKAHIRO;UEYANAGI GIJJI |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/338;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/44 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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