发明名称 DEVICE FOR INSPECTING DIGITAL INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1674019(A1) 申请公布日期 1991.08.30
申请号 SU19884389632 申请日期 1988.01.05
申请人 NI KT I SREDSTV KONTROLYA ELEKTRONNOJ APPARATURY IZDELIJ ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 ZAPOLSKIJ ALEKSANDR G,SU;LOBANOV GRIGORIJ I,SU;PUNKEVICH VITALIJ S,SU
分类号 G01R31/317;G01R31/28 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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