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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0341461(Y2)
申请公布日期
1991.08.30
申请号
JP19860162764U
申请日期
1986.10.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/683;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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