发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03199190(A) 申请公布日期 1991.08.30
申请号 JP19890338380 申请日期 1989.12.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MIYAZAKI YOSHIMASA
分类号 C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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