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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0341482(Y2) 申请公布日期 1991.08.30
申请号 JP19860158869U 申请日期 1986.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;C23C14/54;C23F1/08;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L31/12;(IPC1-7):H01L31/12 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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