ECR PLASMA CVD DEVICE,申请号JP19890278960-传众专利搜索

发明名称	ECR PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号	JPH03197682(A)	申请公布日期	1991.08.29
申请号	JP19890278960	申请日期	1989.10.26
申请人	ASHIDA:KK	发明人	SATO NORIYOSHI;IIZUKA SATORU;ASHIDA TOSHIKAZU
分类号	H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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