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发明名称 MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03198326(A) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 JP19890341420 申请日期 1989.12.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AIHARA KAZUHIRO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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