发明名称 EVAPORATING SOURCE AND EVAPORATING DEVICE FORMED BY USING THIS SOURCE
摘要
申请公布号 JPH03197668(A) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 JP19890337302 申请日期 1989.12.25
申请人 SHINKU KIKAI KOGYO KK 发明人 DAIKUHARA SHIGEKI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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