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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR910006605(B1) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 KR19880003422 申请日期 1988.03.29
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 HUJINO MAGOTO;ITO MASANO;HASEKAWA ISAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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