发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03197883(A) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 JP19890339629 申请日期 1989.12.26
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI EIJI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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