发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03198322(A) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 JP19890339835 申请日期 1989.12.26
申请人 SHARP CORP 发明人 TSUJI HIDEYUKI;YAMAMOTO YOSHITAKA;KIKUTA MITSUHIRO;MIYAJIMA TOSHIAKI;KOBA MASAYOSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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