光学式位移检测装置

摘要

一种光学式位移检测装置，包括一个主标尺和一个指示标尺，主标尺上第一光栅的间距为P，指示标尺上第二光栅的间距为P/n，从而产生间距为P/n的分度检测信号。此外，第二光栅的间距调定为(u+v)P/u或(u+v)P/(2u)(u是浸射性光源与第一光栅间的距离，V是两个光栅间的距离)，从而可不用准直透镜。此外还用了第一光栅的较高次谐波分量，因而将第二光栅的间距调定在大致为(u+v)Q/u或(u+v)Q/(2u)(Q＝P/m，m为等于或大于2的整数)，从而避免将第二光栅的间距分成更小的分度。

主权项

1.一种光学式位移检测装置，包括：照明装置，包含一个相干光源；主标尺，其上形成有光栅间距为P的第一光栅；指示标尺，其上形成有光栅间距为q的第二光栅；和光接收元件，用以对透过所述第一和第二光栅照射的照明光进行光电转换；其特征在于，所述第二光栅的光栅间距q＝P/n，其中n为等于或大于2的整数；其中，间距为P/n的检测信号是按主标尺与指示标尺之间的相对位移产生的。