| 发明名称 |
RF plasma CVD employing an electrode with a shower supply surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2241250(A) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
GB19910001619 |
申请日期 |
1991.01.24 |
| 申请人 |
* FUJI ELECTRIC CO LTD;* FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MASAHIKO * DOKI;MAKOTO * TORAGUCHI;SHIGERU * SUZUKI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H05H1/30 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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