| 发明名称 |
DOUBLE-FOCUS DETECTOR UTILIZING CHROMATIC ABERRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0385272(A3) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
EP19900103453 |
申请日期 |
1990.02.22 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
MIYATAKE, TSUTOMU |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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