| 发明名称 |
COMPENSATING EDDY CURRENT EFFECTS IN CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0307906(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
EP19880115117 |
申请日期 |
1988.09.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
YASUDA, HIROSHI C/O FUJITSU LIMITED;SUZUKI, MASAHIKO C/O FUJITSU LIMITED |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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