| 发明名称 |
FORMATION OF COPPER WIRING AND TARGET USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03196620(A) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
JP19890337762 |
申请日期 |
1989.12.26 |
| 申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
SAWADA SUSUMU;IRUMADA SHIYUUICHI;OHASHI TAKEO;FUKUYO HIDEAKI |
| 分类号 |
C22F1/08;C22C9/00;C22F1/00;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C22F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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