| 发明名称 |
THERMOPILE USING SILICON SINGLE CRYSTAL AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03196582(A) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
| 申请号 |
JP19890069094 |
申请日期 |
1989.03.20 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
SAKAMOTO HIKARI;KAWASAKI ATSUSHI;KANAZAWA TOMOSHI;MASUI SHOICHI;HASHIGUCHI GEN |
| 分类号 |
G01J1/02;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/14;H01L35/32;H01L35/34 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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