发明名称 |
PROCESS AND APPARATUS FOR DEPOSITING HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON ON A SUBSTRATE IN A PLASMA ENVIRONMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0263788(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.28 |
申请号 |
EP19870810548 |
申请日期 |
1987.09.23 |
申请人 |
INSTITUT DE MICROTECHNIQUE |
发明人 |
CURTINS, HERMANN |
分类号 |
C23C16/30;C23C16/22;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L31/04 |
主分类号 |
C23C16/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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