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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03196521(A)
申请公布日期
1991.08.28
申请号
JP19890337611
申请日期
1989.12.25
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
ASADA KUNIHIKO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/66
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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