发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH03194919(A) 申请公布日期 1991.08.26
申请号 JP19890333423 申请日期 1989.12.22
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 TAKEUCHI RYOICHI;UDAGAWA TAKASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/203 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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