| 发明名称 |
APPARATUS FOR EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03194918(A) |
申请公布日期 |
1991.08.26 |
| 申请号 |
JP19890333422 |
申请日期 |
1989.12.22 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK |
发明人 |
KONUMA KENJIRO;KATO KAZUHIRO;AIHARA NORIYUKI;UDAGAWA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B25/16;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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