| 发明名称 |
THIN-FILM FORMATION AND HEAT TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03195020(A) |
申请公布日期 |
1991.08.26 |
| 申请号 |
JP19890336013 |
申请日期 |
1989.12.25 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMADA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/285;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
