| 发明名称 |
ETCHING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03194930(A) |
申请公布日期 |
1991.08.26 |
| 申请号 |
JP19900320600 |
申请日期 |
1990.11.22 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
RII EMU ROUENSUTEIN;DAGURASU EI UEBU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/311 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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