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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03192736(A)
申请公布日期
1991.08.22
申请号
JP19890333819
申请日期
1989.12.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
IWATANI AKIHIKO;ANJO ICHIRO;ARITA JUNICHI
分类号
H01L21/60;H01L21/50
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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