| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR DETECTING ELECTRIC CHARGE ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03192646(A) |
申请公布日期 |
1991.08.22 |
| 申请号 |
JP19890331835 |
申请日期 |
1989.12.20 |
| 申请人 |
TOKYO KASOODE KENKYUSHO:KK |
发明人 |
YASAKA MITSUO |
| 分类号 |
H01J37/20;G01R29/12;G01R29/24;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
