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发明名称 MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03192644(A) 申请公布日期 1991.08.22
申请号 JP19890329523 申请日期 1989.12.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAI KATSUHIKO
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/302 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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