发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03192723(A) 申请公布日期 1991.08.22
申请号 JP19890334345 申请日期 1989.12.21
申请人 NEC CORP 发明人 OSHITA YOSHIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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