| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03191069(A) |
申请公布日期 |
1991.08.21 |
| 申请号 |
JP19890331735 |
申请日期 |
1989.12.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MUKAI YUJI;TSUDA YOSHIYUKI;KODERA KOICHI;YASUI HIDEAKI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
