发明名称 METHOD OF RAPIDLY CHANGING DEPOSITION AMOUNT IN A CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号 EP0166960(B1) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 EP19850106511 申请日期 1985.05.24
申请人 NISSHIN STEEL CO., LTD.;MITSUBISHI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 发明人 SHIMOZATO, YOSHIO C/O HIR.TECH.INST;WADA, TETSUYOSHI C/O HIR.TECH.INST;YANAGI, KENICHI C/O HIROSHIMA TECH. INST.;KATO, MITSUO C/O HIROSHIMA TECH. INST.;FURUKAWA, HEIZABURO C/O HIR.SEW.;WAKE, KANJI C/O HIROSHIMA S. & E. WORKS;MORITA, ARIHIKO C/O NISSHIN R & D LAB.;TSUKIJI, NORIO C/O NISSHIN R & D LAB.;AIKO, TAKUYA C/O NISSHIN R & D LAB.;KITTAKA, TOSHIHARU C/O NISSHIN R & D LAB.;NAKANISHI, YASUJI C/O NISSHIN R & D LAB.
分类号 C23C14/54;C23C14/24;C23C14/26;C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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