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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP0388343(A3) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 EP19900480016 申请日期 1990.02.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BRUNSVOLD, WILLIAM ROSS;KNORS, CHRISTOPHER JOHN;KWONG, RANEE WAI-LING;MIURA, STEVE SEIICHI;MONTGOMERY, MELVIN WARREN;MOREAU, WAYNE MARTIN;SACHDEV, HARBANS SINGH
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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