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发明名称 POSITIVE TYPE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH03191353(A) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 JP19890330260 申请日期 1989.12.20
申请人 MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 NAGASAKA HIDEKI;OTA KATSUKO
分类号 G03F7/031;C08F2/50;G03F7/027;G03F7/029 主分类号 G03F7/031
代理机构 代理人
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