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发明名称 MICROWAVE PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03191068(A) 申请公布日期 1991.08.21
申请号 JP19890331732 申请日期 1989.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MUKAI YUJI;TSUDA YOSHIYUKI;KODERA KOICHI;YASUI HIDEAKI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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