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经营范围
发明名称
PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
JPH03190128(A)
申请公布日期
1991.08.20
申请号
JP19890328923
申请日期
1989.12.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAKEMOTO KAZUNARI;AMATATSU ATSUSHI;KITO MAKOTO
分类号
G11B5/31;H01L21/302
主分类号
G11B5/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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