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摘要
申请公布号
JPH03190211(A)
申请公布日期
1991.08.20
申请号
JP19890331934
申请日期
1989.12.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMADA YOSHIAKI;KATO YUICHI
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
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