发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03190246(A) 申请公布日期 1991.08.20
申请号 JP19890330516 申请日期 1989.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AZUMA CHINATSU;ISHIKAWA OSAMU
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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