发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03190220(A) 申请公布日期 1991.08.20
申请号 JP19890330442 申请日期 1989.12.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOKETSU MASAYA;HASHIMOTO KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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