ALIGNMENT OF PROBE WITH SEMICONDUCTOR WAFER,申请号JP19890329930-传众专利搜索

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发明名称	ALIGNMENT OF PROBE WITH SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH03190148(A)	申请公布日期	1991.08.20
申请号	JP19890329930	申请日期	1989.12.19
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	OKAMOTO YASUSHI
分类号	G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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