| 发明名称 |
COATING LIQUID FOR FORMING OXIDE COATING FILM AND PRODUCTION OF OXIDE COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03190984(A) |
申请公布日期 |
1991.08.20 |
| 申请号 |
JP19890329110 |
申请日期 |
1989.12.19 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
MORISHIMA HIROYUKI;SHIMAMURA YASUO;SATO NINTEI;UCHIMURA SHUNICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/316;C09D183/00;C09D183/02;C09D183/04;C09D183/14;C09D185/00 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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