发明名称 ELECTRON BEAM ACCELERATOR
摘要
申请公布号 JPH03190044(A) 申请公布日期 1991.08.20
申请号 JP19890328878 申请日期 1989.12.19
申请人 EBARA CORP 发明人 NAGAI KAZUTOSHI;NISHIMURA TATSUYA
分类号 H01J37/06;H01J37/24;H05H9/00 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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